計装プロセス
注目製品
FR1400シリーズUHP一段式、大流量レギュレータ
パーカー・ベリフロ製FR1400シリーズレギュレータは、最大20.6MPaの1次側圧力で大流量を供給することができるタイドダイヤフラム、一段式のレギュレータです。バスボンベ、バルクバスのポイント・オブ・ユースおよび特殊ガスアプリケーションに最適の選択となります。
PFAバルブ
超高純度フルオロポリマー製バルブは、高濃度の酸及び塩基、清浄な化学物質およびスラリーを含む半導体製造溶液用途にPFA及びPTFEで製造されています。
UHPステンレス鋼チェックバルブ – F9シリーズ
小さなフットプリントで最大0.90の高いCvを供給し、必要性の高いパネルスペースを節約します。半導体製造アプリケーション、VMB/VMP及びガスキャビネットメーカー向けです。
レギュレーター ツール
ミニチュア圧力調整器SQ2MICROシリーズ
高性能な小型フットプリントの、ポイントオブユースのレギュレータ。Q2Microは、優れた再現性、安定性、感度を備えており、ステップの機能変化に対して非常に優れた応答を示します。
UHP集積型圧力調整器SMSQ2Microシリーズ
SMSQ2MicroおよびSMSQ2Micro130E集積型圧力調整器は、実証済みのSQ製品ラインの一部です。
ダイヤフラムバルブ ツール
UHPダイアフラムY-バルブ – 手動またはエア作動式(真空から300 psig) – 930Yシリーズ
2つのバルブを1つのコンパクトなボディに組み合わせているため、パージシステムをガスマニホールドに簡単に統合することができパージプロセスの効率を改善します。
UHPダイアフラムバルブ – 手動またはエア作動式(真空から300 psig) – 930シリーズ
様々な手動オペレータとエア作動式アクチュエータが用意されています。優れた信頼性、低い漏れ特性及び清浄度を備え、UHP半導体アプリケーションで使用するのに理想的です。
UHP表面実装ダイアフラムバルブ – 手動またはエア作動式(真空~250 psig) – SM930シリーズ
手動オペレータ式及びエア作動式アクチュエータ。優れた信頼性、低い漏れ特性及び清浄度を備え、UHP半導体モジュラー表面実装システムアプリケーション用です。
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