INSTRUMENTATION PROCESS
FEATURED PRODUCTS
FR1400은 반도체와 청결 과정에서 높은 압력의 가스배달을 위한 초고순도 레귤레이터입니다. 높은 유량, 부피(use bulk)의 실린더 또는 포인트와 특수 가스 어플리케이션에 최고의 선택입니다.
PFA & PTFE 제품은 누설 없는 연결(leak-tight connection)과 최소한의 유체 정체 용적(dead volume)을 제공하여, 초고순도(UHP) 반도체 제조 공정 및
부식성 화학 물질 응용 분야에 이상적으로 적합합니다.
F9 시리즈는 전체가 용접된 고순도 체크 밸브이며, 최대 0.90의 높은 Cv를 제공하여 패널 공간을 절약해준다. 반도체 팹, VMB/VMP, 그리고 가스 캐비넷 제조 업체에서 사용하기에 적합합니다.
TOOLS REGULATORS
SQ2Micro 압력 레귤레이터는, 작은 케이스로 정밀한 압력 제어가 필요한 경우, UHP 사용점에 사용되도록 설계되었습니다. 누출 견실성을 제공하여, 중요한 반도체 작업에 이상적입니다.
SMSQ2Micro 압력 레귤레이터는, 작은 케이스로 정밀한 압력 제어가 필요한 경우, UHP 사용점에 사용되도록 설계되었습니다. 누출 견실성을 제공하여, 중요한 반도체 작업에 이상적입니다.
TOOLS DIAPHRAGM VALVES
930Y 시리즈 다이어프램 밸브 (Y 블록 몸체)는 2 개의 밸브를 하나의 컴팩트한 몸체에 결합하여 퍼지 시스템을 가스 매니폴드에 통합하는 것과 동시에 퍼지 프로세스의 효율성을 향상시킵니다.
930 시리즈 다이어프램 밸브 (1-1 / 8 인치 몸체 크기)는 다양한 수동 작동기 및 공기 작동 구동기 방식으로 주문가능하며, 신뢰성, 누설 방지 및 청결성을 제공하므로 UHP 분야에 이상적입니다.
SM930 시리즈는 수동 조작방식과 공기작동 방식으로 다양하게 제공됩니다. 이 제품은 뛰어난 신뢰성, 누출 견실성, 및 청정도를 제공하여, UHP 반도체 모듈 표면-장착 시스템에 이상적입니다.
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