UHP FR1400 단일 스테이지 고유량 감압 레귤레이터
UHP Single Stage High Flow Pressure Reducing Regulator
ENGINEERING IMPROVED PERFORMANCE AND RELIABILITY
Veriflo Division의 FR1400 시리즈는 반도체와 그 외 청결이 중요한 공정에서 높은 압력의 가스전달을 위한 초고순도 레귤레이터입니다. 3000 PSIG의 높은 압력을 견디며, 800 slqm의 높은 유량을 커버할 수 있는 단일 스테이지 고유량 레귤레이터로, VMBs(다중 밸브 박스)또는 포인트와 특수 가스 어플리케이션에 적합합니다.
FR1400 레귤레이터
- 316 스테인리스 스틸 본체와 10 μ in. Ra 표면 처리로 부식에 강함
- 고순도 반도체 가스 어플리케이션에 최적화 된 제품
- Metal-to-Metal 밀봉으로 누설 방지
- 타이드 다이어프램 디자인
- 기존의 프리미엄 제품인 QR4000과 HF1200 를 보완하는 뛰어난 성능의 레귤레이터 FR시리즈
- Inlet 압력에 따라서 FR시리즈는 FR1000과 FR1200로 나뉨
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