 |
Parker is a leading manufacturer of fluid control for liquid & Gas process control and application.
Ultra High Purity products are Specialized for Semiconductor industry, ensures safety and provide reliable performance
PARKER SEMICONDUCTOR FLUID CONTROL APPLICATIONS
VMBs/ CMBs
VMB는 반도체 생산 장비에 특수 가스를 안전하고 안정적으로 공급하는 장치입니다.
Gas Cabinet
가스 캐비닛은 가스 실린더를 보관하고 공정 장비에 유해 가스를 공급하는 장치입니다.
FR1400. 단일 스테이지 고유량 감압 레귤레이터
- 316L 스테인리스 스틸 본체와 10 μ in. Ra 표면 처리로 부식에 강함
- 고순도 반도체 가스 어플리케이션에 최적화 된 제품
- Metal-to-Metal 밀봉으로 외부누설 차단
- 타이드 다이어프램 디자인
- 기존의 프리미엄 제품인 QR4000과 HF1200 를 보완하는 뛰어난 성능
SQ140, 고성능 POS(point of use) 레귤레이터
- 내부 스프링과 스레드가 없는 타입
- 확실한 차단용 고정형 다이어프램 설계
- Metal to Metal 밀봉으로 외부누설 차단
- Full EP 내부 디자인
- Hastelloy-C22Ⓡ 트림 및 VespelⓇ 시트 옵션 제공
QR4000, 단일 스테이지 스레드리스 압력 레귤레이터
- "VeriClean™", Veriflo의 맞춤형 저황 고순도 316L 스테인리스 스틸로 내식성을 향상시킴
- 특수한 compression member가 노즐이나 추가 씰 없이도 씰을 바디에 밀착
- 나사없는 내부 노즐 어셈블리
- Metal to Metal 다이어프램과 바디 씰 사이의 누설 방지
- Particle 생성을 최소화 하여 오염을 줄임
959, 고압 타이드 다이어프램 레귤레이터
- 안전한 작동을 위한 타이드 다이어프램 설계
- 특수한 compression member가 노즐 및 추가 씰 없이 씰을 바디에 밀착
- Metal to Metal 밀봉으로 외부리크 방지
- 스프링 교체 시 외부 노출 없이 본체와 씰을 파손하지 않아 오염 방지
- 긴 라이프사이클로 메인터넌스가 간편하며 비용 절감
반도체제조(FAB) 어플리케이션 및 반도체 산업 트렌드 백서
글로벌 반도체 산업은 통신, 컴퓨팅, 의료, 온라인 서비스 및 자동차를 포함한 산업의 칩 수요 증가에 의해 주도되고 있습니다. 앞으로도 전 세계적으로 다양한 산업 분야에서 칩에 대한 수요는 계속해서 증가할 것으로 예상됩니다. Parker는 증가하는 수요와 기술 발전에 발맞추어 반도체는 제조의 새로운 디지털 시대인 인더스트리 4.0에서 앞으로 나아갈 것입니다.
- 성장을 주도하는 애플리케이션
- 글로벌 반도체 부족.
- 글로벌 수요충족을 위한 생산량 추가.
- 전문 반도체 제조 장비.
- 최근 반도체 기술의 발전.
- ALD 및 ALE 프로세스.
- 오염 통제.
아래의 폼을 작성 하시면 반도체 산업 트랜드 백서와 제품 카달로그를 다운 받을 수 있습니다.
그 외 기술문의 사항도 작성 해 주시면 빠른 시일내에 전문 엔지니어분이 답변 드리도록 하겠습니다.
Parker Semiconductor Solution Video
Instrument Solutions for Gas Delivery System
Instrument Solutions for Chemical Delivery System