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Parker is a leading manufacturer of fluid control for liquid & Gas process control and application.
Ultra High Purity products are Specialized for Semiconductor industry, ensures safety and provide reliable performance
PARKER SEMICONDUCTOR FLUID CONTROL APPLICATIONS
VMBs/ CMBs
VMB는 반도체 생산 장비에 특수 가스를 안전하고 안정적으로 공급하는 장치입니다.
Gas Cabinet
가스 캐비닛은 가스 실린더를 보관하고 공정 장비에 유해 가스를 공급하는 장치입니다.
17R&18R, UHP 대유량, 고압 다이어프램 밸브
- 316 스테인리스 스틸 본체와 10 μ in. Ra 표면 처리로 부식에 강함
- 17R : 수동 및 공압 진공에서 3000psi까지 완벽하게 작동
- 18R : 수동 에서 1,500psi, 공압에서 1,200psi까지 완벽하게 작동
- 최대유량 0.8Cv(17R), 1.3 Cv(18R)까지 커버 가능
- 다중 다이어프램으로 뛰어난 라이프 사이클
F9 , UHP 스테인리스 스틸 체크밸브
- 전체가 용접 된 고순도 체크 밸브로 최대 0.90Cv제공
- 특허받은 비대칭 스프링 설계로 소음없는 작동
- 용접된 설계로 작업 공간 절약
- 초고순도 분야용 전해연마(EP) 버전 제공
- Vericlean 316L 스테인리스 스틸을 사용하여 강력한 내부식성
930, UHP 다이어프램 밸브 - 수동 또는 공기 작동식
- 내부에 나사 및 스프링이 없어 입자 생성 및 포집을 최소화
- 오염에 강하여 반도체 적용 분야에 최적화
- 유지보수가 필요없는 서비스 수명 제공
- "VeriClean™"과 고순도 316L 스테인리스 스틸의 특수금속으로 탁월한 내식성과 누출방지
- 시트재료 PCTFE, PEEK® 및 VESPEL®의 뛰어난 유체 호환성
945, UHP 고압 다이어프램 밸브
- 5 μ in. Ra 표면 처리로 부식에 강함
- 0.25Cv의 유량과 작동압력 3,500psig까지 작동 가능
- 뛰어난 누설 방지와 높은 사이클라이프로 안정적인 작동 보증
- 내부 스프링과 스레드리스 디자인으로 입자 생성 및 포집을 최소화
- 특수한 compression member는 나사 또는 크림핑 작업 없이 균일하게 씰링
반도체제조(FAB) 어플리케이션 및 반도체 산업 트렌드 백서
글로벌 반도체 산업은 통신, 컴퓨팅, 의료, 온라인 서비스 및 자동차를 포함한 산업의 칩 수요 증가에 의해 주도되고 있습니다. 앞으로도 전 세계적으로 다양한 산업 분야에서 칩에 대한 수요는 계속해서 증가할 것으로 예상됩니다. Parker는 증가하는 수요와 기술 발전에 발맞추어 반도체는 제조의 새로운 디지털 시대인 인더스트리 4.0에서 앞으로 나아갈 것입니다.
- 성장을 주도하는 애플리케이션
- 글로벌 반도체 부족.
- 글로벌 수요충족을 위한 생산량 추가.
- 전문 반도체 제조 장비.
- 최근 반도체 기술의 발전.
- ALD 및 ALE 프로세스.
- 오염 통제.
아래의 폼을 작성 하시면 반도체 산업 트랜드 백서와 파카의 반도체 솔루션 자료를 확인 하실 수 있습니다.
그 외 기술문의 사항도 작성 해 주시면 빠른 시일내에 전문 엔지니어분이 답변 드리도록 하겠습니다.
Parker Semiconductor Solution Video
Instrument Solutions for Gas Delivery System
Instrument Solutions for Chemical Delivery System