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Parker is a leading manufacturer of fluid control for liquid & Gas process control and application.
Ultra High Purity products are Specialized for Semiconductor industry, ensures safety and provide reliable performance
PARKER SEMICONDUCTOR FLUID CONTROL APPLICATIONS
VMBs/ CMBs
VMB는 반도체 생산 장비에 특수 가스를 안전하고 안정적으로 공급하는 장치입니다.
Gas Cabinet
가스 캐비닛은 가스 실린더를 보관하고 공정 장비에 유해 가스를 공급하는 장치입니다.
Specialty Chemicals
CCSS / SDS는 반도체 생산 장비에 특수 케미컬/슬러리를 안전하고 안정적으로 공급하는 장치입니다.
Bulk Gas / BCBS
BSGS는 대형 실린더, Y형 실린더 또는 리시버 트레일러와 같은 하나 또는 두 개의 벌크 공급 분배 시스템에 가스를 분배합니다.
PARKER UHP Regulator
- PARKER의 Veriflo 사업부는 정밀 다이어프램과 벌크 가스 밸브, 레귤레이터, 액체와 가스의 제어 및 적용을 위한 유체 제어의 선두 업체입니다.
- UHP 제품은 최첨단 클래스 10 클린룸과 IPA 제품을 위한 조립 공간에서 제작 및 포장 되며 Vericlean 및 Hastelloy C-22® 등의 소재로 고유량의 부식성 가스와의 호환성이 뛰어납니다.
- VMBs/ CMBs 그리고 GAS cabinet뿐만 아니라 OEM및 대부분 공정에 특화된 파카의 제품들은 안정된 퍼포먼스를 보장 하며, 고유량부터 저유량, 고압에서 저압까지 커버하는 다양한 포트폴리오 라인을 보유하고 있습니다.
- Point of use을 위한 SQ 140
- 고압과 높은 유량을 커버 할 수 있는 FR1400,
- 향상된 누출 방지 기능갖춘 QR4000
- 안전성이 뛰어난 다이어프램 레귤레이터인 959
PARKER UHP Diaphragm Valve & Check valve
- PARKER의 Veriflo 사업부는 정밀 다이어프램과 벌크 가스 밸브, 레귤레이터, 액체와 가스의 제어 및 적용을 위한 유체 제어의 선두 업체입니다.
- 일반 유량뿐만 아니라 최대 유량 1.30 Cv(18R), 작동압력 300Psig에서 3,500 Psig의 고압까지 커버 가능한 다양한 제품 포트폴리오
- UHP 다이어프램 밸브는 공정 유체와 접촉하는 나사 또는 스프링이 없어 입자생성 및 오염을 최소화 하며 긴 서비스 수명을 보장합니다.
- 탁월한 누출방지와 내부식성을 자랑하는 930 다이어프램 밸브
- 스프링과 스레드가 없는 디자인으로 오염에 강한 945 다이어프램 밸브
- 대유량과 고압까지 커버 가능한 뛰어난 성능의 17R, 18R 다이어프램 밸브
- 특허받은 스프링과 무소음 작동의 0.90 Cv의 F9 체크밸브
UHP PFA & PTFE Regulator, Valve & Fitting
- PFA & PTFE 제품은 반도체 제조(Fab) 장비 연결을 포함하여 초 고순도 (UHP) 및 부식성 화학물질 취급 시스템에 적합
- 고순도(UHP) PFA 또는 PTFE로 제작되어 표면미립자, 총 유기탄소(TOC) 및 음이온 발생을 최소화 하여 청결공정이 중요한 작업에서 뛰어난 성능과 신뢰성 있는 결과
- 불소 중합체로 코팅된 스테인리스 스틸 스프링사용으로 강력한 내부식성을 자랑하며 많은 공정 유체들과 호환 가능
- Tong & Groove 씰로 스프링과 나사를 보호하는 PR-1 PTFE 레귤레이터
- 표면 미립자를 최소화 하여 유체의 오염을 줄여주는 PFA Par flare 피팅
- 작동압력 100psi에서도 뛰어난 작동을 하는 MV-13 PFA 니들밸브
- Custom Assembly가 가능한 CASY
PARKER Refrigerant & Temperature Control System
- 반도체 칠러와 같이 정밀한 컨트롤이 필요한 어플리케이션에 최적화 된 APK Superheat Controller
- 빠른 응답성과 신뢰성을 자랑하며 전압 및 전류, 밸브의 속도 등 다양한 조건을 밸브를 한 개의 통합된 공용 인터페이스 보드로 컨트롤 가능 IB-K
- 솔레노이드 타이트 시팅으로 누설 방지 및 부식방지 소재 사용으로 내부식성에 강한 SER 바이폴라 전자식 팽창밸브
- 다이렉트 디지털 제어 또는 기타 건물 관리 시스템과 인터페이스 가능한 SDR 바이패스 디스차지 밸브
- 간소화된 시스템 배관으로 배관자재 비용, 설치시간 및 배관의 복잡성을 간소화 하는 MTW 전자식 3방향 조절밸브
반도체제조(FAB) 어플리케이션 및 반도체 산업 트렌드 백서
글로벌 반도체 산업은 통신, 컴퓨팅, 의료, 온라인 서비스 및 자동차를 포함한 산업의 칩 수요 증가에 의해 주도되고 있습니다. 앞으로도 전 세계적으로 다양한 산업 분야에서 칩에 대한 수요는 계속해서 증가할 것으로 예상됩니다. Parker는 증가하는 수요와 기술 발전에 발맞추어 반도체는 제조의 새로운 디지털 시대인 인더스트리 4.0에서 앞으로 나아갈 것입니다.
- 성장을 주도하는 애플리케이션
- 글로벌 반도체 부족.
- 글로벌 수요충족을 위한 생산량 추가.
- 전문 반도체 제조 장비.
- 최근 반도체 기술의 발전.
- ALD 및 ALE 프로세스.
- 오염 통제.
아래의 폼을 작성 하시면 반도체 산업 트랜드 백서와 파카의 반도체 솔루션을 확인 하실 수 있습니다.
그 외 기술문의 사항도 작성 해 주시면 빠른 시일내에 전문 엔지니어분이 답변 드리도록 하겠습니다.
Parker Semiconductor Solution Video
Instrument Solutions for Gas Delivery System
Instrument Solutions for Chemical Delivery System