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作为流体控制领域的优先制造商， 派克专门为半导体行业生产高纯度产品，
确保其安全性和可靠性， 以满足液体和气体过程控制和应用的需求。
派克汉尼汾半导体在流体控制方面的应用
VMBs
VMB是一种能够安全、稳定地向半导体生产设备分配特殊气体的设备
气柜
气柜用于存储气瓶，并将特殊气体输送到工艺设备。
17R&18R, UHP高流量、高压隔膜阀
- 316不锈钢材质主体，表面抛光10（Ra）
- 17R型：手动和气动两种类型均可在真空至3000Psig的压力范围内完全工作
- 18R型：手动最高可在真空至1500Psig的压力范围内完全工作，气动最高可在真空至1200Pgig的压力范围内完全运作
- 多隔膜设计，使用寿命更长
F9 , UHP 单向阀
- 采用专利的非对称弹簧设计，操作无噪音
- 焊接设计减少体积
- 进行了电解抛光（EP）处理，适用于超高纯度的应用
- Vericlean™316L不锈钢材质增强耐腐蚀性能
930, UHP 低流量，低压隔膜阀
- 无内部弹簧和螺纹设计，最小化粒子生成和气体残留
- 可在真空至300Psig的压力范围内完全工作
- 使用寿命长（包括腐蚀环境）
- Vericlean™是Veriflo公司的二次熔炼低硫316L不锈钢，增强了电解抛光、焊接和耐腐蚀性能
945, UHP 超高纯度高压隔膜阀
- 标准表面抛光为5Ra
- 可在真空至3500Psig的压力范围内完全工作
- 内部无螺纹和弹簧设计，最小化粒子生成和气体残留
- 独特的压缩构件均匀加载密封件，无需螺纹组件或卡压操作
半导体行业的趋势
美国的半导体产业经历了起伏，但是未来需求的增长将来自于众多行业，这使得未来看起来很有前途。跟上需求增长和技术进步将推动半导体产业在工业4.0和新的数字制造时代中前进。
这本白皮书将探讨以下内容：
- 推动增长的应用领域。
- 全球半导体短缺。
- 美国政府增加美国自主生产半导体的承诺。
- 全球产能增加。
- 专业半导体制造设备。
- 半导体技术的最新进展。
- ALD和ALE工艺。
- 污染控制。
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