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作为流体控制领域的优先制造商， 派克专门为半导体行业生产高纯度产品， 确保其安全性和可靠性， 以满足液体和气体过程控制和应用的需求。
派克半导体流体控制应用
VMBs
VMB 是一种能够安全、稳定地向半导体生产设备分配特殊气体设备。
气柜
气柜用于存储气瓶，并将特殊气体输送到工艺设备。
特殊化学品输送系统
CCSS / SDS是一种能够安全稳定地向半导体生产设备供应特殊化学品/浆料的装置。
大宗化学品输送系统
BCDS是将需要大量供应的化学品采取集中供应的方案，从而提高供应效率的设备
派克UHP 减压阀
- 派克的Veriflo事业部是隔膜阀大宗气体阀的优秀供应商，为液体和气体的流体控制提供减压阀和阀门
- UHP 产品在先进的 100 级洁净室和装配室中制造和包装，并由 Vericlean 和 Hastelloy C-22® 等材料制成，与高流量腐蚀性气体具有出色的相容性
- Parker 的产品专用于 OEM 和大多数工艺，以及 VMB/CMB 和 气体柜，保证性能稳定，并拥有从高流量到低流量、从高压到低压的多种产品线
- 用于使用点的 SQ 140 减压阀
- FR1400 用于高压高流量应用
- QR 4000 提升了泄露保护
- 959 联动式膜片增加了安全性
派克 UHP 隔膜阀 & 单向阀
- 派克 的 Veriflo 事业部是隔膜阀和大宗气体阀门、液体和气体流体控制减压阀的领先供应商
- 多样化的产品组合，不仅涵盖正常流速，还涵盖 1.30 Cv (18R) 的最大流速和 300 Psig 至 3,500 Psig 高压的工作压力。
- UHP 隔膜阀在与过程流体接触时采用无螺纹和无弹簧设计，可最大限度地减少颗粒的产生和污染并确保较长的使用寿命
- 930 隔膜阀，出色的泄漏完整性和耐腐蚀性
- 945 隔膜阀，无弹簧和无螺纹设计最大限度地减少颗粒的产生
- 17R, 18R 阀性能可靠，适用于大流量17R, 18R 高压隔膜阀
- F9 单向阀，无噪音操作，弹簧设计专利的
UHP PFA 和 PTFE 调节器、阀门和接头
- PFA 和 PTFE 产品是超高纯度 (UHP) 和腐蚀性化学品处理系统的理想选择，包括晶圆厂设备连接
- 它由高纯度 (UHP) PFA 或 PTFE 制成，可最大限度地减少表面颗粒、总有机碳 (TOC) 的产生，从而在清洁度很重要的工况中实现出色的性能和可靠的结果
- 以含氟聚合物为涂层的不锈钢弹簧具有很强的耐腐蚀性，并与许多工艺流体兼容
- PR-1 PTFE 减压阀，卯榫形式密封结构保护了弹簧和螺纹
- PFA Parflare 接头 最大限度地减少流体的颗粒和污染
- MV-13 PFA 针阀，最高使用压力至 100psi
- SY 可定制装配
派克制冷和温度控制系统
- 适用于半导体冷水机组和精密控制应用的 APK 过热控制器
- 响应迅速，可靠性高，可通过一个集成电控板控制电压、电流和阀动作速度等多种参数
- SER双极电子膨胀阀，紧密密封无内漏，采用防腐材料耐腐蚀
- SDR热气旁通阀，可用数字信号直接控制或与楼宇管理系统联动
- MTW电子三通控制阀，降低系统管路复杂度，降低材料成本和安装时间
半导体领域的趋势
美国的半导体产业经历了起伏，但是未来需求的增长将来自于众多行业，这使得未来看起来很有前途。跟上需求增长和技术进步将推动半导体产业在工业4.0和新的数字制造时代中前进。
这本白皮书将探讨以下内容：
- 推动增长的应用领域。
- 全球半导体短缺。
- 美国政府增加美国自主生产半导体的承诺。
- 全球产能增加。
- 专业半导体制造设备。
- 半导体技术的最新进展。
- ALD和ALE工艺。
- 污染控制。
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