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作为流体控制领域的优先制造商， 派克专门为半导体行业生产高纯度产品，
确保其安全性和可靠性， 以满足液体和气体过程控制和应用的需求。
派克汉尼汾半导体在流体控制方面的应用
VMBs
VMB是一种能够安全、稳定地向半导体生产设备分配特殊气体的设备。
气柜
气柜用于存储气瓶，并将特殊气体输送到工艺设备。
FR1400 单级大流量减压阀
- 316 不锈钢主体和 10 μ in. Ra 表面光洁度
- 专为超高纯度半导体气体应用而制造
- 金属对金属密封可防止泄漏
- 联动式膜片设计
SQ140，高性能，POUS减压阀
- 无弹簧或螺纹暴露在介质通过区域
- 联动式膜片以增加安全性
- 隔膜对阀体为金属对金属密封
- 标准内部全电抛光
- 标准 Hastelloy C-22® 阀芯和隔膜
QR4000，单级，压力减压阀
- “VeriClean”，Veriflo 的定制二次熔炼低硫 316L 不锈钢™增强了电解抛光、焊接和耐腐蚀性
- 独特的压缩构件将密封件加载到主体上，无需螺纹喷嘴或额外的密封件
- 确保了更低的泄漏率
- 最小的颗粒产生和残留
959, 高压联动式膜片减压阀
- 联动式膜片增加安全性。
- 获得专利的独特压缩构件将密封件加载到阀体上，无需螺纹喷嘴或额外的密封件。
- 确保了更低的泄漏率
- 内螺纹喷嘴组件
- 高循环寿命
半导体行业的趋势
美国的半导体产业经历了起伏，但是未来需求的增长将来自于众多行业，这使得未来看起来很有前途。跟上需求增长和技术进步将推动半导体产业在工业4.0和新的数字制造时代中前进。
这本白皮书将探讨以下内容：
- 推动增长的应用领域。
- 全球半导体短缺。
- 美国政府增加美国自主生产半导体的承诺。
- 全球产能增加。
- 专业半导体制造设备。
- 半导体技术的最新进展。
- ALD和ALE工艺。
- 污染控制。
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仪器仪表气体运输系统的解决方案
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