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作为流体控制领域的优先制造商，派克专为半导体行业设计的APK 控制器和电子膨胀阀，
确保安全，同时提供可靠的性能。
APK 过热度控制器
- 适用于半导体冷水机组和精密控制应用
- 确保安全 - 系统发生错误时，控制器将重启阀门 (DA4003) ，并提供安全警报
- 工作压力和温度的稳定性（LOP、MOP 功能、阀门最小开度控制）
- 精确高效的控制 - 通过最大脉冲或开阀速度设置提供精确控制
IB-K驱动板
- 适用于派克的所有阀门，如4相双极和单极控制，可实现精确控制
- 具有快速响应和可靠性，并可通过一块驱动板实现电压、电流和阀门速度等各种参数的集中控制
- 紧凑的尺寸最大限度地减少了安装空间
双极电子膨胀阀SER系列
- 步进电机驱动以实现精确控制
- 线圈采用紧密密封和耐腐蚀材料
- 经现场验证的可靠性和低功耗（小于 4 瓦）
- 采用自润滑材料，使用寿命长
电子排气旁通阀SDR系列
- 直接温度控制或可与数字接口控制
- 与 Sporlan TCB 一起使用时可作为独立的温度控制器使用
- 容量高达 25 冷吨
- 久经考验的可靠步进电机设计
单极电子膨胀阀
- 单极步进电机
- 高分辨率执行器和无安装方向限制
- 优越的耐腐蚀性
- 双流应用
半导体行业的趋势
美国的半导体产业经历了起伏，但是未来需求的增长将来自于众多行业，这使得未来看起来很有前途。跟上需求增长和技术进步将推动半导体产业在工业4.0和新的数字制造时代中前进。
这本白皮书将探讨以下内容：
- 推动增长的应用领域。
- 全球半导体短缺。
- 美国政府增加美国自主生产半导体的承诺。
- 全球产能增加。
- 专业半导体制造设备。
- 半导体技术的最新进展。
- ALD和ALE工艺。
- 污染控制。
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