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UHP減壓閥
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UHP隔膜閥和單向閥
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冷凍空調產品
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作為流體控制領域的領導者,派克專門為
半導體產業生產高純度產品
,確保其
安全性和可靠性
,以滿足液體和氣體製程控制和應用的需求。
派克漢尼汾半導體在流體控制方面的應用
VMBs
VMB是一種能夠安全、穩定地分配供應氣體及流體於半導體生產設備系統。
氣櫃
氣櫃用於存儲氣瓶,並將特殊氣體輸送到製程設備。
17R&18R, UHP高流量、高壓隔膜閥
316不鏽鋼材質主體,表面拋光10(Ra)
17R型 : 手動和氣動兩種類型應用在真空至3000Psig 的壓力範圍內
18R型 : 手動最高可應用於真空至1500Psig 的壓力範圍內,氣動閥最高可應用於真空至1200Pgig 的壓力範圍內
多隔膜設計,使用壽命更長
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F9,UHP 單向閥
採用專利的非對稱彈簧設計,操作無噪音
焊接設計減少體積
進行了電解拋光(EP)處理,適用於超高純淨度的應用
Vericlean 316L不鏽鋼材質增強耐蝕性能
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930,UHP 低流量,低壓隔膜閥
無內部彈簧和螺紋設計,最小化粒子生成和氣體殘留
可應用在真空至300Psig 的壓力範圍內
使用壽命長(包括腐蝕環境)
Vericlean是Veriflo公司的二次熔煉低硫316L不鏽鋼,增強了電解拋光、焊接和耐蝕性能
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945,
UHP 超高純度高壓隔膜閥
標標準表面拋光為5Ra
可在真空至3500Psig 的壓力範圍內完全工作
內部無螺紋和彈簧設計,最小化粒子生成和氣體殘留
獨特的壓縮構件均勻載荷密封件,無需螺紋組件
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半導體領域的趨勢
美國的半導體產業經歷了起伏,但是未來需求的成長將來自於眾多產業,這使得未來前景看來非常樂觀。跟上需求成長和技術進步將推動半導體產業在工業4.0和新的數位製造時代中向前發展。
這本白皮書將探討以下內容:
推動成長的應用領域。
全球半導體短缺。
美國政府增加美國自主生產半導體的承諾。
全球產能增加。
專業半導體製造設備。
半導體技術的最新進展。
ALD和ALE流程。
污染控制。
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