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作為流體控制領域的領導者，派克專門為半導體產業生產高純度產品， 確保其安全性和可靠性，以滿足液體和氣體製程控制和應用的需求
派克半導體流體控制應用
VMBs
VMB是一種能夠安全、穩定地分配供應氣體及流體於半導體生產設備系統
氣櫃
氣櫃用於存儲氣瓶，並將特殊氣體輸送到製程設備
特殊化學品輸送系統
CDS / SDS是一種能夠安全穩定地向半導體生產設備供應特殊化學品/研磨漿料的系統
大宗化學品輸送系統
BCDS是將需要大量供應的化學品採取集中供應的方案，從而提高供應效率的系統
派克UHP減壓閥
- 派克的Veriflo事業部是隔膜氣體閥的優秀供應商，為液體和氣體的流體控制提供減壓閥產品
- UHP產品在先進的Class 100無塵室組裝製造和包裝，並以Vericlean和Hastelloy C-22®等材料製成，提供高流量腐蝕性氣體應用優異的相容性
- Parker 的產品專供OEM和大多數製程使用，以及VMB/VMP和氣櫃，保證性能穩定，並具備從高流量到低流量、從高壓到低壓的多種產品線
- 用於使用點的SQ 140減壓閥
- FR1400 用於高壓高流量應用
- QR 4000 提高了洩漏保護
- 959 聯動式膜片增加了安全性
派克 UHP 隔膜閥 & 單向閥
- 派克的Veriflo事業部是隔膜氣體閥的優秀供應商，為液體和氣體的流體控制提供減壓閥產品
- 多樣化的產品組合,不僅涵蓋正常流速，還提供 1.30 Cv (18R) 的最大流速和 300 Psig 至 3,500 Psig 的高壓工作範圍
- UHP隔膜閥與過程流體接觸時採用無螺紋和無彈簧設計，可大幅減少雜質產生和污染並確保較長的使用壽命
- 930隔膜閥，具優異的洩漏完整性和耐蝕性
- 945隔膜閥，無彈簧和無螺紋設計大幅減少雜質產生
- 17R、18R閥性能可靠，適用於大流量17R、18R高壓隔膜閥
- F9單向閥，無噪音操作，彈簧設計專利
UHP PFA 和 PTFE 調節器、閥門和接頭
- PFA 和 PTFE 產品是超高純淨度 (UHP) 為腐蝕性化學品處理系統的理想選擇，應用於晶圓廠設備連接
- 以高純淨度 (UHP) PFA 或 PTFE製成，可大幅減少表面顆粒、總有機碳 (TOC) 的產生，在清淨度極為重要的工作環境中實現優異的性能和可靠的結果
- 以含氟聚合物為塗層的不鏽鋼彈簧具有很強的耐蝕性，並與許多製程流體兼容
- PR-1 PTFE 減壓閥，以榫接形式密封結構保護彈簧和螺紋
- PFA Parflare 接頭大幅減少流體的顆粒和污染
- MV-13 PFA 針閥，最高使用壓力至100psi
- CASY 客製模組閥
派克冷凍空調
- SER 雙極電子膨脹閥，緊密密封無內洩，採用防腐材料耐腐蝕
- SDR 熱氣旁通閥，可用數位訊號直接控制或與建築管理系統聯動
- MTW 電子三通控制閥，降低系統管路複雜度，降低材料成本和安裝時間
半導體領域的趨勢
美國的半導體產業經歷了起伏，但是未來需求的成長將來自於眾多產業，這使得未來前景看來非常樂觀。跟上需求成長和技術進步將推動半導體產業在工業4.0和新的數位製造時代中向前發展。
這本白皮書將探討以下內容：
- 推動成長的應用領域。
- 全球半導體短缺。
- 美國政府增加美國自主生產半導體的承諾。
- 全球產能增加。
- 專業半導體製造設備。
- 半導體技術的最新進展。
- ALD和ALE流程。
- 污染控制。
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派克漢尼汾半導體產業的解決方案影片
儀器儀表氣體運輸系統的解決方案
儀器儀表化學品運輸系統的解決方案
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