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半導體器件製造過程中使用了大量的超高純度、具有侵蝕性和有毒性的液體化學品,派克的PTFE和PFA產品被用於各種半導體化學品輸送應用,包括 : 化學品集中供應裝置、漿料輸送系統、化學品輸送系統、化學品混合器等。

派克半導體流體控制應用
特殊化學品輸送系統
CDS / SDS是一種能夠安全穩定地向半導體生產設備供應特殊化學品/研磨漿料的系統。
大宗化學品輸送系統
BCDS是將需要大量供應的化學品採取集中供應的方案,從而提高供應效率的系統。
MV-12, MV-22, PV-22 
超高純度含氟聚合物(PFA)閥 
  • 優異的洩漏密封完整性 
  • 氟塑料塗層的SUS彈簧極其抗腐蝕 
  • 與各種介質兼容 
  • 高性能聚四氟乙烯隔膜保證高循環壽命(MV-12) 
PR-1 PTFE 氟聚合物壓力調節器
  • 榫接結構密封的膜片 
  • 高性能聚四氟乙烯隔膜膜片和內部SUS彈簧提供高循環壽命 
  • 可配備多種端口配置 
  • 減少組裝時間和組裝成本 
CV-1 & CV-3 
聚四氟乙烯單向閥 
  • 提供大尺寸聚四氟乙烯止回閥符合散裝化學系統趨勢(CV-3) 
  • 高純度氟聚合物,非常適用於所有化學品 
  • 獨特的設計提供極低的開啟壓力、高流量和高完整密封性更有效地防止反向流 
  • 榫接結構密封
擴口接頭和熱熔接頭
  • 提供更高的洩漏完整性 
  • 高純度PFA可以最小化表面顆粒,從而實現更清潔的操作 
  • 擴口接頭可用於側向載荷和震動應用 
  • PVDF、PFA和鈦填充螺帽可用於特定應用。 
超高純 PFA手動針閥 
  • 應用於真空到100 psig壓力範圍內 
  • 一體成型PFA閥桿/手柄以及閥體提供強度和耐蝕性 
  • 耐用之PTFE墊圈和非介質接觸部件(PTFE,PVDF) ,閥門無需額外維護 
  • 各種口徑大小。
Custom Assembly (CASY)
  • 提供客製化的閥門配件 
  • 包括多功能式集成配件、焊接配件、表面安裝配件 
  • 提高生產效率、確保介質純度,降低昂貴的停機時間 
  • 提供高效能的客製解決方案。 

半導體產業的趨勢

美美國半導體產業經歷了起伏。但未來前景看來非常樂觀,因為來自許多產業對晶片的需求只會增加。跟上不斷增長的需求和技術進步將推動半導體產業進入工業4.0,即製造業的新數位時代。 

這本白皮書將探討以下內容:

  • 推動成長的應用領域。 
  • 全球半導體短缺。 
  • 美國政府增加美國自主生產半導體的承諾。 
  • 全球產能增加。 
  • 專業半導體製造設備。 
  • 半導體技術的最新進展。 
  • ALD和ALE流程。 
  • 污染控制。
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