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식각 공정에서 발생 가능한 다양한 요건을 만족 시킬 수 있는 솔루션을 제공합니다.
FF302
FF302는 금속 함유량이 낮기 때문에 내식각성을 갖고 있습니다.
또한 절연막 물질만 식각하기 위해 사용되는 에쳔트에도 무난하게 호환 가능합니다.
HiFluor™
고순도와 물성이 뛰어난 씰링용 엘라스토머 제품군은 파티클 발생이 적고 다양한 유체 및 플라즈마에 대한 내성이 강하기 때문에 반도체 산업에 널리 사용되고 있습니다.
FF352
뛰어난 플라즈마 내성을 가진 FF352 재질은 웨이퍼의 잔여물을 제거하기 위한 애싱(Ashing), 스트립(Strip) 공정에 특화되었습니다.
Ultra High Purity Slit Valve Doors
Parker의 UHP Slit Valve Doors Seal은 (고순도 슬릿밸브 도어씰) 일반 오링보다 약 10배이상의 긴 수명과 플라즈마 및 진공 설비에 특화된 제품입니다.
Ultra High Purity Gate Valve Doors
Parker의 UHP Gate Valve Doors Seal은 (고순도 게이트밸브 도어씰) 게이트가 열리고 닫힐 때 강성을 유지해줄 뿐만 아니라 플라즈마 침투에 대한 뛰어난 내성을 갖고 있습니다.
EZ-Lok™
EZ-Lok™은 쉽고 빠른 설치를 통해 장비 보수 시간을 최소화하여 장비의 생산성을 향상 시킬 수 있습니다.
Extruded & Spliced
우주항공 산업에서 요구되는 높은 접착 수준을 만족하기 위해 다년간 FFKM(FF200-75, FF202-90, F582-90)에 대한 기술 혁신을 이루었습니다.
Custom PTFE FlexiSeal™
Parker의 FlexiSeal은 증착, 식각 공정에서의 챔버와 대기압 사이의 틈새 부위에 씰링이 필요한 곳에 적용됩니다.
Flexi Seal은 PTFE가 가지는 우수한 내화학성과 내마찰성을 바탕으로 오래 사용할 수 있도록 제작되었습니다.
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