UHP 반도체 PFA & PTFE 레귤레이터 밸브 & 피팅
UHP PFA & PTFE Regulator, Valve & Fitting
ENGINEERING IMPROVED PERFORMANCE AND RELIABILITY
Parker의 PFA & PTFE 제품은 반도체 제조(Fab) 장비 연결을 포함하여 초 고순도 (UHP) 및 부식성 화학물질 취급 시스템에 사용 하도록 제작되었습니다. 최소한의 불감부피(dead volume)와 누설을 방지하며 완벽한 밀봉을 통하여 가동정지 시간을 최소화 합니다. 고순도(UHP) PFA 또는 PTFE로 제작되어 표면미립자, 총 유기탄소(TOC) 및 음이온 발생을 최소화 하여 청결공정이 중요한 작업에서 뛰어난 성능과 신뢰성 있는 결과를 보장합니다.
PTFE 체크밸브 CV시리즈 CV-1, CV-3
- Tongue & groove 외부씰로 확실한 몸체 밀봉
- PTFE 스프링을 사용하며 O링이 없음
- 부식성이 높은 많은 공정 유체들과 호환 가능
PFA 다이어프램 밸브
- 스테인리스 스틸로 코팅된 불소 중합체 스프링사용으로 강력한 내부식성
- 광범위한 유체와 호환 보장
- 긴수명을 보장하는 일체형 PTFE격막 장착
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